【技術名】 組成分布立体表示アトムプローブ及び走査型組成分布立体表示アトムプローブ

【利用分野】 アトムプローブ

【特長】 電界イオン顕微鏡とイオン検出器を組み合わせたアトムプローブあるいは走査型アトムプローブにおいて、試料の分析領域を拡大すると共に、イオンの電界蒸発位置の分解能を原子レベルまで向上させ得る、簡素な構造で安価で操作が容易な装置。