研究者一覧

安全で安心なソフトマテリアルの創製と多機能デバイス化技術

名前草野英二 工学博士
所属環境・建築学部環境化学科　教授
E-mailkusano@neptune.kanazawa-it.ac.jp
研究内容低環境負荷型プラズマスパッタリング技術の開発と新機能性薄膜材料の創製 プラズマ・イオン注入を応用したマルチファンクショナル材料の開発

　スパッタリング法を中心に薄膜作製プロセスおよび得られた薄膜の物性を研究しています．「ハイテク・リサーチ・プロジェクト」において蓄積してきた知見を有機高分子材料あるいはバイオマテリアルなどの薄膜化，あるいはそれらの表面改質に展開しています．さらには薄膜作製技術を石川県の伝統工芸品に応用することも試みています．

 

  • 研究分野

薄膜作製プロセスおよび薄膜物性

 

  • 所属学会

応用物理学会，日本真空協会

 

  • 現在の研究課題

・スパッタリングプロセスの解析

・イオン化スパッタリングプロセスにおける薄膜構造の制御

・有機高分子薄膜の堆積プロセスおよび物性の解析

・バイオマテリアルの薄膜化および表面改質

・薄膜作製技術の石川県伝統工芸への展開

・複合材料の耐久性

  

  • 主な研究業績

・”Growth of carbon with vertically aligned nanoscale flake structure in capacitively coupled rf glow discharge”, Zhang H, Kikuchi N, Kogure T, et al., VACUUM   Volume: 82   Issue: 8   Pages: 754-759   Published: APR 14 2008

・”Electrical and mechanical properties of SnO2 : Nb films for touch screens”,

Kikuchi N, Kusano E, Kishio E, et al., VACUUM   Volume: 66   Issue: 3-4   Pages: 365-371   Published: AUG 19 2002

↑pagetop