

| 名前 | 河野 昭彦 博士(工学) |
|---|---|
| 所属 | ものづくり研究所 特別研究員 |
| 研究内容 | 高分子材料化学における感光性樹脂の開発 |
導電性複合ポリマー,レジスト除去プロセス
応用物理学会
・ 導電性複合ポリマーにおけるPTC特性の改善と導電メカニズムの解明.
・ 溶液を用いたレジスト除去プロセスの検討.
・ A. Kono and F. Shoji, “Deterioration and recovery in the resistivity of Al-doped ZnO films prepared by the plasma sputtering”, submitted to Vacuum.
・ A. Kono and F. Shoji, “Electrical properties of Al-doped ZnO films fabricated by the hot-cathode plasma sputtering method”, Material Science and Engineering B, (in press).
・ A. Kono, Z. Feng, N. Nouchi and F. Shoji, “Fabrication of low resistivity tin-doped indium oxide films with high electron carrier densities by a plasma sputtering method”, Vacuum, 83, 548 (2009).