【技術名】 物体の加工処理方法とその装置

【利用分野】 工具・金型、機械部品等

【特　　長】 工具や金型の表面処理及び機械部品の表面処理のため、プラズマCVDとプラズマイオン注入を組み合わせた新しいコーティング技術を開発した。三次元の複雑形状をした工具や金型及び機械部品などの表面に、均一に密着性のよい良質の膜をつけることができる。特に従来困難であった凹面にも良質の膜をつけることができるので、実用上の効果は大きい。