FACILITIES :実験機器・設備

マグネトロンスパッタ成膜装置 パルスレーザー蒸着装置 アークプラズマ蒸着装置

これらの物理的成膜装置を用いて各種機能性薄膜を作製できる。
 

極低温顕微時間分解PL測定装置 X線光電子分光分析システム 全自動水平型多目的X線回折装置(スマートラボ)
極低温(マイナス270℃)での半導体からの発光(PL)を100億分の1秒の精度で分析できる。 物質に含まれる微量の元素の種類や含有量、化合物の化学的な結合状態を分析できる。 多様な材料の組成分析、方位・配向分析、結晶性評価、格子緩和評価、格子歪・残留応力評価、界面ラフネス分析、密度分析、面内均一性評価等ができる。